一、高壓質量流量控制器設計特點 

熱式原理 
一體化設計 
滿量程從 5SCCM 到 1000SLPM 
響應時間不超過 2 秒鐘 
操作壓力可達 20.7MPa 
對安裝位置不敏感 
316SS 材質，允許測量腐蝕性氣體 
無直管段安裝要求 
單電源供電 

二、高壓質量流量控制器技術參數 
流量范圍 ：從 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2 ，具體請參考表一 
響應時間 ： 1 ～ 2 秒 
精 度 ： ± 1% 滿量程（除 204A 型） 
---------± 1± 1.5%.滿量程（ 204A 型） 
重 復 性 ： ± 0.2% 滿量程 
量 程 比 ： 50:1 （ 2%-100% 滿量程） 
環境和操作溫度 ： -10 ～ 70 ℃ 
大操作壓力 ： 3000PSIG （ 20.7MPa ），具體請參考資料

零點漂移： ± 0.05 % 滿量程 / ℃ 
范圍漂移 ： ± 0.05 % 讀數 / ℃ 
壓力漂移 ： 0.1%/atm （相對于 N 2 ） 
安裝方向 ： 對位置不敏感 
預熱時間 ： 10 分鐘 
電氣連接 ： 卡式 （ 20 針）或 D 型（ 9 針） 
設定點輸入流量信號輸出 ：0-5VDC/0-5VDC；4-20mA/4-20mA

供應電源 ： 
電壓輸出：＋ 12( ± 5 ％ ) （僅適用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信號輸出）或  15( ± 10 ％ )VDC 
電流輸出：＋ 15( ± 5 ％ ) 或  24( ± 15 ％ )VDC 
電流消耗：＜ 250mAdc 
重 量 ：請參考表一

三、結構材質

主體： 316SS 
傳感器組件 ： 316LSS 
孔： 316SS 
閥構成部件 （接液）： 
302SS ， 316SS ， 430FSS ， Sandvik?1802 （除 202 、 221 、 222 和 251 型）；302SS ， 316SS ， Sandvik?1802 （ 202 、 221 、 222 和 251 型） 
密封材質（” O ”型環和閥座）： 
Buna N ， EPDM ， Kalrez ， Neoprene ， Viton （除 202A 、 203A 和 204A 型）；Buna N ， Viton（ 202A 、 203A 和 204A 型） 
過程連接： 316SS

四、選型表